| 利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究 |
| 李诗卓,柴黎明
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| 1990-12-31
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| 发表期刊 | 固体润滑
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| 期号 | 4页码:276-285 |
| 摘要 | 作者利用入射速度为40m/s的80~#和100~#白刚玉砂冲击超硬质膜,测定入射粒子量与膜剥离之间的定量关系,确定造成底材开始显露所需的粒子用量(孕育剂量)和冲蚀坑中心部位的膜全部剥离时的最低粒子用量(临界剂量),并以两者之差作为判据,收到了与划痕法通过临界载荷评价膜-底材结合强度的同样效果。试验结果证明,孕育剂量与膜厚呈正变关系,因而通过它可以先求出膜厚,再求出剥离单位厚度膜层所消耗的粒子量(线冲蚀系数),并用其作为膜-底材结合强度的判据,可以扣除膜厚的影响。作者认为,冲蚀法的主要优点是设备简单、操作方便、取样面积大、代表性好,能为各类薄膜工艺提供可信的判据。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 沈阳,沈阳
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| 关键词 | 冲蚀法
孕育剂量
临界剂量
膜的冲蚀系数
划痕法
临界载荷
硬质膜
结合强度
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29029
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李诗卓,柴黎明. 利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究[J]. 固体润滑,1990(4):276-285.
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| APA |
李诗卓,柴黎明.(1990).利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究.固体润滑(4),276-285.
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| MLA |
李诗卓,柴黎明."利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究".固体润滑 .4(1990):276-285.
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