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真空镀铝用特制石墨坩埚
韩耀文
1988-03-01
发表期刊真空科学与技术
期号1页码:70
摘要<正> 耐高温熔铝浸蚀、耐高温氧化、耐急冷急热应力损毁的长寿命石墨坩埚是真空镀铝的关键性多消耗部件。中科院金属所广泛调研国内外情况,研究了真空镀铝过程坩埚损毁机理。对比四种坩埚,筛选出最佳的合成树脂复合碳化物填充石墨,采用提高坩埚密度与质量的新工艺,研究选用最佳的石墨组分与工艺相结合,成功地研制成高寿命特制
部门归属中国科学院金属研究所
关键词真空镀铝:7309 损毁机理:3146 耐高温氧化:2992 合成树脂:2698 急冷急热:2481 石墨坩埚:2286 新工艺:2261 体积密度:1251 组分:1177 同类产品:983
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29373
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
韩耀文. 真空镀铝用特制石墨坩埚[J]. 真空科学与技术,1988(1):70.
APA 韩耀文.(1988).真空镀铝用特制石墨坩埚.真空科学与技术(1),70.
MLA 韩耀文."真空镀铝用特制石墨坩埚".真空科学与技术 .1(1988):70.
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