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HCD离子镀(Ti,A1,V)N合金薄膜的实验研究
闻立时,姜辛,杨尚林,蔡瑜玲
1987-05-31
发表期刊材料保护
期号5页码:14-18
摘要用空心阴极放电(HCD) 离子镀方法,以下TiA1V合金为蒸发源材料,生产出一种具有(Ti,A1,V) N的合金化薄膜.获得的膜是A1,V替代Ti原子的组态.A1,V的引入,组织没明显的变化.薄膜具有符合刀具膜层的较高硬度,可期望得到好的韧性和抗氧化性能.
部门归属中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
关键词Hcd离子镀 离子镀(Ti 空心阴极放电离子镀 Ai 离子沉积 v)N合金
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29461
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
闻立时,姜辛,杨尚林,蔡瑜玲. HCD离子镀(Ti,A1,V)N合金薄膜的实验研究[J]. 材料保护,1987(5):14-18.
APA 闻立时,姜辛,杨尚林,蔡瑜玲.(1987).HCD离子镀(Ti,A1,V)N合金薄膜的实验研究.材料保护(5),14-18.
MLA 闻立时,姜辛,杨尚林,蔡瑜玲."HCD离子镀(Ti,A1,V)N合金薄膜的实验研究".材料保护 .5(1987):14-18.
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