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Au-Cu合金择优溅射机制的一个新观点
李日升
1987-05-01
发表期刊金属学报
期号4页码:253-261
摘要本文介绍了新近关于合金择优溅射机制的一个新观点.这个观点认为,在AuCu合金中所观测到的择优溅射现象,主要是离子轰击诱发的Gibbs偏析的结果;只有当轰击离子的能量低至几百电子伏、接近溅射的“准阈能”值对,质量效应才起明显的作用。
部门归属中国科学院金属研究所,
关键词择优溅射:5832 离子轰击:4698 新观点:3405 合金溅射:3173 表面偏析:2581 质量效应:2132 热扩散系数:1975 表面成分:1750 观测:1434 离子能量:1414
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29485
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李日升. Au-Cu合金择优溅射机制的一个新观点[J]. 金属学报,1987(4):253-261.
APA 李日升.(1987).Au-Cu合金择优溅射机制的一个新观点.金属学报(4),253-261.
MLA 李日升."Au-Cu合金择优溅射机制的一个新观点".金属学报 .4(1987):253-261.
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