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Ti-N涂层晶体择优取向的电子衍射法研究
闻立时,姜辛,斯重遥
1986-12-31
发表期刊无机材料学报
期号4页码:367-373
摘要对用电子衍射法研究涂层晶体择优取向进行了尝试。首先从晶体电子衍射的基本原理出发从方法上进行探讨,然后用 Ti-N 涂层进行检验,给出了较为精确的结果。并将 X 射线衍射技术作为辅助手段研究了工艺参数对 Ti-N 涂层晶体择优取向的影响。
部门归属中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 沈阳市,沈阳市,沈阳市
关键词Ti-n 涂层 晶体 择优取向 电子衍射
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29536
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
闻立时,姜辛,斯重遥. Ti-N涂层晶体择优取向的电子衍射法研究[J]. 无机材料学报,1986(4):367-373.
APA 闻立时,姜辛,斯重遥.(1986).Ti-N涂层晶体择优取向的电子衍射法研究.无机材料学报(4),367-373.
MLA 闻立时,姜辛,斯重遥."Ti-N涂层晶体择优取向的电子衍射法研究".无机材料学报 .4(1986):367-373.
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