| 离子剥离逐层分析的计算机模拟 |
| 曲哲; 谢天生
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| 1986-05-31
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 5页码:128-133 |
| 摘要 | <正> Auger电子能谱分析与惰性气体离子刻蚀技术相配合测量元素的浓度-深度分布曲线,已广泛用于表面研究中。本工作提出了一个描述离子剥离过程中表层浓度与体内浓度和元素剥离系数之间的关系的数学模型。采用一般文章中常用的假定:(1)当离子能量不高时,被溅射原子只来自表面第一层,(2)每种元素的剥离系数在一定的浓度范围内变化不大,近似地看作是常数,(3)在所研究区域内离子的通量 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,
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| 关键词 | 计算机模拟:5236
逐层分析:4387
剥离系数:4018
离子轰击:2562
分布曲线:2504
数学模型:2479
表面浓度:2278
元素:2202
离子能量:2069
离子刻蚀技术:1969
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29602
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
曲哲,谢天生. 离子剥离逐层分析的计算机模拟[J]. 金属学报,1986(5):128-133.
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| APA |
曲哲,&谢天生.(1986).离子剥离逐层分析的计算机模拟.金属学报(5),128-133.
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| MLA |
曲哲,et al."离子剥离逐层分析的计算机模拟".金属学报 .5(1986):128-133.
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