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离子注入提高金属表面硬度的研究
李铁藩,王继荫,单国友,屈保春,罗应氏
1985-10-28
发表期刊机械工程材料
期号5页码:16-19
摘要本文应用“20~420keV离子注入机”对铁,镍,18Cr-8Ni不锈钢进行了硼离子能量为100keV,剂量分别为4×10~(15)离子/cm~2及1×10~(16)离子/cm~2的注入试验。对铍进行硼离子能量为80keV及剂量为2×10~(17)离子/cm~2的注入,并经620℃一小时的真空退火处理。通过离子探针(IMS)分析,证明硼在这些金属中的纵向浓度,近似的呈高斯分布。经显微硬度的测量,Fe、Ni、18Cr-8Ni经注入B~+后,金属的表面显微硬度伍都得到不同程度的提高。特别是金属铍注硼后,再经过真空退火,其表面硬度从HV300kg/mm~2提高到HV≥2318kg/mm~2。
部门归属中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,电子工业部1448所,电子工业部1448所
关键词注入剂:5080 硼离子注入:4521 注硼:3791 注入参数:3529 表面硬度:3266 表面显微硬度:2051 离子探针:1778 退火处理:1727 金属表面:1724 注入层:1705
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29650
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李铁藩,王继荫,单国友,屈保春,罗应氏. 离子注入提高金属表面硬度的研究[J]. 机械工程材料,1985(5):16-19.
APA 李铁藩,王继荫,单国友,屈保春,罗应氏.(1985).离子注入提高金属表面硬度的研究.机械工程材料(5),16-19.
MLA 李铁藩,王继荫,单国友,屈保春,罗应氏."离子注入提高金属表面硬度的研究".机械工程材料 .5(1985):16-19.
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