| 中空热阴极离子镀钛一氮涂层 |
| 王祥春,陈秀芝,安刚,李诗卓
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| 1982-03-02
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| 发表期刊 | 材料保护
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| 期号 | 2页码:3-9 |
| 摘要 | <正> 一、前言用离子镀方法进行反应气相沉积超硬耐磨涂层是七十年代物理气相沉积技术的一项重大突破。而中空热阴极离子镀是一项新近发展起来的离子镀技术。由于它具有沉积速度快、离化程度高、高速中性粒子多等特点,所以沉积涂层具有好的反应性、结合性等优点,加之设备简单、操作容易、价格低廉、无公害等特点,因此是一项适于工业生产的离子镀技术。国外用此技术已经制作了铬—氮、铬—碳、钛—氮、钛—碳超硬涂 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
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| 关键词 | 装饰涂层:7434
物理气相沉积技术:3190
蒸发速度:2918
沉积速度:2757
阴极放电:2113
结合性:1992
工业生产:1863
石墨:1548
价格低廉:1498
离子镀:1369
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29935
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
王祥春,陈秀芝,安刚,李诗卓. 中空热阴极离子镀钛一氮涂层[J]. 材料保护,1982(2):3-9.
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| APA |
王祥春,陈秀芝,安刚,李诗卓.(1982).中空热阴极离子镀钛一氮涂层.材料保护(2),3-9.
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| MLA |
王祥春,陈秀芝,安刚,李诗卓."中空热阴极离子镀钛一氮涂层".材料保护 .2(1982):3-9.
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