| (Ti;Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备 |
| 赵升升; 程毓; 常正凯; 王铁钢; 孙超
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| 2012-03-11
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 3页码:277-282 |
| 摘要 | 利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了(Ti,Al)N涂层,研究了N_2分压改变对涂层残余应力沿层深分布及相关力学性能的影响.结果表明,低N_2分压下,(Ti,Al)N涂层残余应力沿层深分布较均匀,随N_2分压的增加,涂层应力沿层深呈"钟罩型"分布,且全膜厚的应力值也明显增大;通过对涂层生长结构及微观成分分析,初步探讨了应力分布机理.随N_2分压的增加,涂层硬度会显著增加,而膜/基结合力则大幅下降;采用改变N_2分压工艺制备(Ti,Al)N涂层,可有效调整涂层残余应力沿层深分布趋势,改善其力学性能,并可成功制备厚度在130μm以上的硬质涂层. |
| 部门归属 | 深圳职业技术学院;中国科学院金属研究所;
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| 关键词 | (Ti
A1)n
硬质涂层
应力分布
调整应力
N_2分压
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/60660
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
赵升升,程毓,常正凯,等. (Ti;Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备[J]. 金属学报,2012(3):277-282.
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| APA |
赵升升,程毓,常正凯,王铁钢,&孙超.(2012).(Ti;Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备.金属学报(3),277-282.
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| MLA |
赵升升,et al."(Ti;Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备".金属学报 .3(2012):277-282.
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