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等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展
赵彦辉; 董利民; 杜昊; 于传跃; 肖金泉; 于宝海
2012-06-20
发表期刊机械工程材料
期号6页码:1-4+71
摘要简要综述了等离子体氮化及物理气相沉积复合处理的新进展,主要介绍了复合处理的工艺进展、复合处理镀层的组织结构、膜/基结合力、耐磨性和耐腐蚀性,并对复合处理的应用前景进行了展望。
部门归属中国科学院金属研究所;沈阳华俄科技发展有限公司;
关键词等离子体氮化 物理气相沉积 复合处理 组织 性能
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/60681
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
赵彦辉,董利民,杜昊,等. 等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展[J]. 机械工程材料,2012(6):1-4+71.
APA 赵彦辉,董利民,杜昊,于传跃,肖金泉,&于宝海.(2012).等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展.机械工程材料(6),1-4+71.
MLA 赵彦辉,et al."等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展".机械工程材料 .6(2012):1-4+71.
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