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离子束减薄对金属玻璃电镜样品的非均匀刻蚀
邓静伟; 吴波; 隋曼龄
2012-06-15
发表期刊电子显微学报
期号3页码:197-201
摘要本文利用透射电子显微镜和原子力显微镜研究了金属玻璃样品在离子束作用后形成的厚度起伏特征。采用高分辨透射电镜和能谱分析结果表明金属玻璃样品中没有发生明显的结构和成分的变化。利用离子束与样品表面作用过程的粗化机理解释了出现这种特征厚度起伏的原因。这种厚度起伏是由材料本身性质和实验条件共同决定的。通过研究离子束与样品的作用方式,有利于确定合适的透射电镜样品制备方法,有助于利用透射电镜研究非晶样品的微观结构。
部门归属中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室;北京工业大学固体微结构与性能研究所;
关键词金属玻璃 电子显微镜 样品制备 离子减薄 原子力显微镜
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/60707
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
邓静伟,吴波,隋曼龄. 离子束减薄对金属玻璃电镜样品的非均匀刻蚀[J]. 电子显微学报,2012(3):197-201.
APA 邓静伟,吴波,&隋曼龄.(2012).离子束减薄对金属玻璃电镜样品的非均匀刻蚀.电子显微学报(3),197-201.
MLA 邓静伟,et al."离子束减薄对金属玻璃电镜样品的非均匀刻蚀".电子显微学报 .3(2012):197-201.
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