| 溅射Ta薄膜及联合溅射Cu-Ta薄膜微观结构观察 | |
| 黄昌清 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 隋曼龄 |
| 2003 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院金属研究所 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/65434 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄昌清. 溅射Ta薄膜及联合溅射Cu-Ta薄膜微观结构观察[D]. 中国科学院金属研究所,2003. |
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