| 薄膜材料电/热/力耦合作用下性能测试系统及测试方法 | |
| 张广平, 张滨 and 于庆源 | |
| 2008-02-27 | |
| Rights Holder | 中国科学院金属研究所 |
| Date Available | 2008-02-27 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明专利 |
| Abstract | 本发明涉及对具有微/纳米尺度的薄膜材料、集成电路用金属化互连体薄膜及 导线在电/热/力耦合作用下进行可靠性能原位测试与评价的系统搭建及性能测试 方法。该系统提供了可原位加工各种形状的微/纳米尺度薄膜材料,利用交、直流 电测试材料在电/力/热耦合作用下力学性能和物理性能、以及进行原位的实时三 维表征等功能。利用交流电所引起的金属线中的焦耳热及薄膜/基体的热膨胀系数 差异形成的热循环应力,对金属薄膜施加热疲劳载荷,结合原位的微观观察及随 后的FIB三维表征对具有微/纳米尺度的薄膜材料和各种低维导线进行可靠性测 试与评价。本发明搭建的系统集原位... |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN101131382 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/65834 |
| Collection | 中国科学院金属研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张广平, 张滨 and 于庆源. 薄膜材料电/热/力耦合作用下性能测试系统及测试方法[P]. 2008-02-27. |
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