超高真空中表面机械清洗装置 | |
谢天生 | |
1993-11-03 | |
专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
公开日期 | 1993-11-03 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 实用新型 |
摘要 | 本结构涉及一种超高真空中清洗样品表面的装置,其结构是在超高真空水平方向的备用窗口上安装一传动轴,其一端与磁力回转器相接,另一端固定一垂直连杆,连杆端头为刀架,刀架上固定有刮刀,在与刀架对应位置吊有样品固定架,架端固定有卡头,卡头上放有样品,通过刀架的旋转,在真空室内可清洗样品表面。其优点:结构简单、安装使用容易,用这种装置清洗表面具有面积大,表面平整,适合在各种分析手段中使用。 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 公开 |
申请号 | CN2145378 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/65851 |
专题 | 中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢天生. 超高真空中表面机械清洗装置[P]. 1993-11-03. |
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