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纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置
王平 and 康向东
2010-06-23
专利权人中国科学院金属研究所
公开日期2010-06-23
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型涉及粉体纳米复合材料制备装置,具体为一种纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置,实现纳米粒子的制备,以及纳米粒子与粉体材料的原位复合,普遍适用于制备各种粉体纳米复合材料。该装置包括纳米颗粒制备系统、纳米颗粒/粉体材料复合系统及进样/取样系统,纳米颗粒制备系统设有真空室、离子源、转靶,离子源一端伸入真空室内,转靶设置于真空室内、与离子源的溅射方向相对应,离子源另一端连有离子源电源和高纯氩气体钢瓶;复合系统设有反弹盘,反弹盘设置于真空室内的下方,与转靶反射的方向相对应;进样/取样系统设有手套操作箱,真空室一侧的密封舱门伸到手套操作箱中,手套操作箱上连有机械泵、循环净化系统和高纯惰性气体钢瓶...
语种中文
专利状态公开
申请号CN201512407U
文献类型专利
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/66235
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王平 and 康向东. 纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置[P]. 2010-06-23.
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