| 一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备 | |
| 闻立时, 黄荣芳 and 陈广超 | |
| 1997-09-24 | |
| 专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
| 公开日期 | 1997-09-24 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法,采用通常的氢与甲烷的比例,甲烷占总流量的1—1．5％,混合气体流量10～200SCCM／cm2；保持反应区温度在2000～2600℃,其特征在于：将氢气对准钨丝,甲烷气对准两根钨丝之间的空档均匀地吹入反应区。本发明使设备钨丝的寿命可以得到很大提高。 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN1160089 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/66620 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闻立时, 黄荣芳 and 陈广超. 一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备[P]. 1997-09-24. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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