| 一种高速气相生长金刚石的方法 | |
| 闻立时, 黄荣芳, 于杰 and 陈广超 | |
| 1997-09-17 | |
| 专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
| 公开日期 | 1997-09-17 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种高速气相生长金刚石的方法,采用热丝化学气相沉积技术,其特征在于：反应全流程在封闭空间内进行,反应气均匀地通过反应区,气体质量流量通量为100—200SCCM/cm2,反应区温度保持在2000—2600℃,反应后气体及时排出。本发明可以在较大面积上,高速生长高质量金刚石。 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN1159491 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/66885 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闻立时, 黄荣芳, 于杰 and 陈广超. 一种高速气相生长金刚石的方法[P]. 1997-09-17. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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