| 一种模拟近地轨道空间复合环境方法及所用装置 |
| 李美栓, 胡龙飞 and 周延春
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| 2007-12-26
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| 专利权人 | 中国科学院金属研究所
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| 公开日期 | 2007-12-26
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 摘要 | 本发明公开一种模拟近地轨道空间复合环境方法及所用装置。在真空环 境下通过微波电子回旋共振方法耦合氧气放电产生高密度的氧等离子体,所 产生的等离子体与带负电的金属靶碰撞中性化为氧原子,用紫外光源照射样 品台,由加热装置和冷却装置控制样品台温度,从而产生原子氧+紫外+温度 循环三因素复合环境；具体：对真空室抽真空进行真空预出气；然后通入氧 气；通过磁场和微波耦合氧气放电产生的氧等离子体,氧等离子体在磁场约 束下撞击施加负偏压的靶,将氧等离子体转变为中性氧原子,在样品台位置 产生环境。采用本发明能够模拟出原子氧+温度循环、紫外+温度循环、原子 ... |
| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN101093228
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67265
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李美栓, 胡龙飞 and 周延春. 一种模拟近地轨道空间复合环境方法及所用装置[P]. 2007-12-26.
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