| 一种纳米叠层TiN梯度膜及其制备方法 |
| 于志明, 饶光斌, 徐家寅, 柯伟 and 李依依
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| 2008-11-05
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| 专利权人 | 中国科学院金属研究所
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| 公开日期 | 2008-11-05
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 摘要 | 本发明涉及离子镀膜技术,具体为一种纳米叠层TiN梯度膜及其制备方法, 解决工作温度低于600℃,由高温合金制成的汽车发动机阀门、飞机叶片等零部 件的表面耐磨、耐腐蚀问题,以及常规TiN离子镀膜镀层易开裂问题。本发明利 用离子镀膜技术在高温合金表面上沉积纳米叠层TiN梯度膜。其制备方法：首先 除去合金表面上的油污,在有机溶剂中超声清洗；然后,将洗净的试样装卡在卡 具上并置入离子镀膜设备的真空室内,抽真空到所需真空度并加热到一定的温度 后通氩气进行离子轰击清洗；最后,在镀膜过程中通过调整蒸发源束流、负偏压 以及氮气流量的变化,获得具有良好抑制... |
| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN101298655
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67277
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
于志明, 饶光斌, 徐家寅, 柯伟 and 李依依. 一种纳米叠层TiN梯度膜及其制备方法[P]. 2008-11-05.
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