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一种纳米锥阵列材料及其制备方法
丛洪涛, 唐永炳 and 成会明
2006-11-08
专利权人中国科学院金属研究所
公开日期2006-11-08
授权国家中国
专利类型发明专利
摘要本发明一种纳米锥阵列材料,其组成成份为AlN,所述材料宏观上形 成一种纳米锥阵列;本发明一种纳米锥阵列材料的制备方法,所述材料采 用化学气相沉积法制备,制备出单晶AlN塔状纳米锥阵列并与硅基板原位垂 直组装。本发明的优点是:此场发射材料具有很低的开启电压、特别是具 有非常高的发射电流稳定性等一系列优异的场发射性能。此材料制备方法简 易、成本低,在平板显示器和阴极场发射器件等领域具有良好的应用前景。
语种中文
专利状态公开
申请号CN1857994
文献类型专利
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67312
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
丛洪涛, 唐永炳 and 成会明. 一种纳米锥阵列材料及其制备方法[P]. 2006-11-08.
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