| 一种热丝化学气相沉积金刚石的设备 |
| 闻立时, 黄荣芳, 陈岩, 刘德义 and 程新红
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| 1998-06-03
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| 专利权人 | 中国科学院金属研究所
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| 公开日期 | 1998-06-03
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 实用新型
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| 摘要 | 一种热丝化学气相沉积金刚石的设备,由反应气体入口,热丝加热器,样品座等部分构成,其特征在于：反应气体入口下方安装有气体分配器,气体分配器上部为塔式结构,内装1—10层多孔节流隔板,分配器的下端为筒式结构,正对下方的热丝加热器；热丝加热器为等距平行加热丝平面阵列,水平放置；加热器正下方与其垂直正交设置有等距平行的支撑丝平面阵列；正对加热器下方为带出气孔的样品座；样品座周围设有1—10圈辅助加热丝。本实用新型可以实现大面积地生长优质金刚石。 |
| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN2283067
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67432
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
闻立时, 黄荣芳, 陈岩, 刘德义 and 程新红. 一种热丝化学气相沉积金刚石的设备[P]. 1998-06-03.
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