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一种铜膜的制备方法
卢磊, 斯晓, 陶乃∴, 隋曼龄 and 卢柯
2001-10-10
专利权人中国科学院金属研究所
公开日期2001-10-10
授权国家中国
专利类型发明专利
摘要一种铜膜的制备方法,其特征在于:以晶粒尺寸小于100nm的纳米金属Cu为原材料,纯度高于99.995wt%,密度为8.91±0.03g/cm3,在室温冷轧,变形速率:1×10-5~1×101/s。本发明制备出的铜膜表面质量好,可以达到很薄的厚度,并且工艺简单,使用普通的轧制设备即可实现。
语种中文
专利状态公开
申请号CN1316304
文献类型专利
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67588
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
卢磊, 斯晓, 陶乃∴, 隋曼龄 and 卢柯. 一种铜膜的制备方法[P]. 2001-10-10.
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