| 一种硬质薄膜残余应力测试仪 | |
| 李家宝, 华伟刚, 孙超, 赵升升, 宫骏, 杜昊 and 王启民 | |
| 2008-12-10 | |
| 专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
| 公开日期 | 2008-12-10 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 本实用新型涉及硬质薄膜残余应力测量技术,具体地说是一种硬质薄膜残余 应力测试仪,解决精确测量硬质薄膜的残余应力等问题,该测试仪包括激光器、 半透镜、光感器,激光器的入射激光束与半透镜倾斜设置,半透镜的另一侧设置 有拱形试片。试片因单面薄膜应力产生弯曲,通过测定试片曲率半径可以计算相 应的薄膜应力。采用He-Ne激光器产生入射光束,依次经由半透镜的透射及试片 表面的反射到达光感器(四象限硅光电池接收器),通过对光程的增大对测量试片 的曲率半径进行放大。拱形试片的运动步长l与硅光电池跟踪距离D间的线性关 系对应着试片曲率半径,测量半透镜中心线... |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN201163222 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67729 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李家宝, 华伟刚, 孙超, 赵升升, 宫骏, 杜昊 and 王启民. 一种硬质薄膜残余应力测试仪[P]. 2008-12-10. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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