| 一种用离子束加工双铜环夹持的透射样品制备方法 |
| 谭军, 张磊, 温井龙 and 谢天生
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| 2007-02-28
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| 专利权人 | 中国科学院金属研究所
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| 公开日期 | 2007-02-28
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 摘要 | 本发明属于一种用聚焦离子束加工双铜环夹持的透射电镜样品制备方法。将 用于夹持透射电镜样品的双铜环一端垂直固定在夹持器上,另一端加工成为一个 145～160度的扇形开口；然后将预制样品平行固定在扇形开口上,即保持加工样 品与夹具固定台平行；采用双束聚焦离子束对所需加工薄区样品进行精确定位, 垂直从两侧剥离,直至加工到透射电镜观察所需厚度；最后从样品夹持器上取下 双铜环,折叠双铜环中下环,固定已经加工完毕的透射电镜样品,以备观察使用。 本发明采用双环沟槽法代替样品室内取出和样品室外静电吸附取出的方法,简单 易行,可以制备出符合高分辨透射电镜需... |
| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN1920519
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67734
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
谭军, 张磊, 温井龙 and 谢天生. 一种用离子束加工双铜环夹持的透射样品制备方法[P]. 2007-02-28.
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