| 一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法 | |
| 谭军, 张磊, 张广平 and 谢天生 | |
| 2008-05-07 | |
| Rights Holder | 中国科学院金属研究所 |
| Date Available | 2008-05-07 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明专利 |
| Abstract | 本发明涉及一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法,属于利用双 束聚焦离子束系统加工表征界面从而实现背散射成像方法,采用双倾转样品台固 定表征样品进行离子束制备表征界面和实现背散射成像。在聚焦离子束系统中将 样品固定,需要制备表征的部位向侧面放置；利用二次电子成像对样品高度进行 校准识别,聚焦样品上表面；打开离子束,进行双束对中处理,保持离子束加工 位置和电子束观测位置的统一；采用离子束大束流预加工表征界面,采用小束流 精加工制备完毕样品需表征界面；旋转副倾转台,离子束加工界面与入射电子束 的垂直,启用背散射探测器实现背散射电子界面表... |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN101173881 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67735 |
| Collection | 中国科学院金属研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 谭军, 张磊, 张广平 and 谢天生. 一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法[P]. 2008-05-07. |
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