| 一种中频磁控溅射法制备纳米硅薄膜的方法及其专用装置 | |
| 肖金泉, 高俊华, 闻立时, 张林, 石南林, 宫骏 and 孙超 | |
| 2012-12-12 | |
| 专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
| 公开日期 | 2012-12-12 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及硅薄膜材料的制备领域,具体的说是一种中频磁控溅射法制备纳米硅薄膜的方法及其专用装置。利用中频磁控溅射法,采用中频电源激发等离子体来溅射与外加电磁线圈形成耦合磁场的非平衡态孪生磁控硅靶,在基体上沉积纳米硅薄,采用真空泵组,将真空室内真空抽至10-3-10-4Pa,并对基体加热使基体温度在400-540℃之间,沉积纳米硅时采用Ar气溅射,由电离规管测量气压值,整个沉积过程中气压控制在0.2-1.5Pa,外加电磁线圈电流0-6A,沉积时间为30-90min,即得纳米硅薄膜。本发明采用外加电磁线圈连续调整孪生靶的非平衡度,实现了低功耗下纳米硅薄膜高速率的离子辅助沉积,薄膜晶体结构大范围可控、... |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN102817004A |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67891 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖金泉, 高俊华, 闻立时, 张林, 石南林, 宫骏 and 孙超. 一种中频磁控溅射法制备纳米硅薄膜的方法及其专用装置[P]. 2012-12-12. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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