| 一种用离子束加工样品界面实现背射表征的装置 | |
| 谭军 张磊 张广平 谢天生 | |
| 2007-11-28 | |
| 专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
| 公开日期 | 2013-06-19 |
| 授权国家 | 中国 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 200620093922.2 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68188 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭军 张磊 张广平 谢天生. 一种用离子束加工样品界面实现背射表征的装置[P]. 2007-11-28. |
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