| 薄膜材料电/热/力耦合作用下性能测试系统及测试方法 |
| 中国科学院金属研究所
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| 2008
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| 关键词 | 薄膜材料
纳米
性能测试
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| 完成单位 | 中国科学院金属研究所;
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| 英文摘要 | 本发明涉及对具有微／纳米尺度的薄膜材料、集成电路用金属化互连体薄膜及导线在电／热／力耦合作用下进行可靠性能原位测试与评价的系统搭建及性能测试方法。该系统提供了可原位加工各种形状的微／纳米尺度薄膜材料，利用交、直流电测试材料在电／力／热耦合作用下力学性能和物理性能、以及进行原位的实时三维表征等功能。利用交流电所引起的金属线中的焦耳热及薄膜／基体的热膨胀系数差异形成的热循环应力，对金属薄膜施加热疲劳载荷，结合原位的微观观察及随后的FIB三维表征对具有微／纳米尺度的薄膜材料和各种低维导线进行可靠性测试与评价。本发明搭建的系统集原位微加工、性能测试及表征于一体，测试材料的力学性能以及电迁移等物理性能。 |
| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 成果
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68466
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
中国科学院金属研究所. 薄膜材料电/热/力耦合作用下性能测试系统及测试方法. 2008.
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