超声气体雾化线形喷嘴 | |
王国志 | |
1999 | |
关键词 | 气相沉积 喷嘴 超声雾化 |
完成单位 | 中国科学院金属研究所; |
英文摘要 | 超声气体雾化线形喷嘴的特征是:该线形喷嘴主要由左右两个长方形的雾化室组合而成,雾化室的中间留有线形液流口,雾化室下方沿液流口方向开有雾化小孔,小孔与液流成一定角度θ,θ在15°~75°之间,它能使沉积出的板坯均匀而平整。 |
语种 | 中文 |
文献类型 | 成果 |
条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68487 |
专题 | 中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王国志. 超声气体雾化线形喷嘴. 1999. |
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