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超声气体雾化线形喷嘴
王国志
1999
关键词气相沉积 喷嘴 超声雾化
完成单位中国科学院金属研究所;
英文摘要超声气体雾化线形喷嘴的特征是:该线形喷嘴主要由左右两个长方形的雾化室组合而成,雾化室的中间留有线形液流口,雾化室下方沿液流口方向开有雾化小孔,小孔与液流成一定角度θ,θ在15°~75°之间,它能使沉积出的板坯均匀而平整。
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68487
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王国志. 超声气体雾化线形喷嘴. 1999.
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