| 高纯电子气、低浓标准气包装容器特殊处理技术 |
| 中国科学院金属研究所
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| 2004
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| 关键词 | 高纯电子气
低浓标准气
特殊处理
包装容器
金属复层保护
抗腐蚀
涂层
阀
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| 完成单位 | 中国科学院金属研究所;
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| 英文摘要 | 该项目根据特种气体腐蚀性强、高纯、要求吸附低及气体成份长期稳定等特点，研制开发了以下特种包装容器与配套的耐蚀阀门减压器。A.CL-1型特殊处理气瓶该系列产品的特点是内表面涂覆着光洁、憎水、耐蚀及化学惰性的涂层，具有很强的抗腐蚀和保持气体纯度的能力。它可用于充装高品级电子气体，如硅烷、乙硼烷、磷烷、砷烷、氯化氢、二氯甲硅烷、三氯化硼及氨等气体，属国内首创，达到国际同类产品先进水平。该产品正逐步代替进口特种钢瓶，用于充装国内高品级特种气体和出口用特种气体。B.CL-2型特殊处理气瓶该系列气瓶的内表面镀有其他抗腐蚀的金属，且表面光洁、镀层附着力强，对气体的吸附很低。它可用于充装一般腐蚀性和非腐蚀性高品级电子气、环保气及标准气，达到国内先进水平，产品正逐步占领国内低浓度环保气和标准气的市场。C.FQTYQ-Ⅱ型抗蚀减压器该装置专为强腐蚀性和高纯电子气体，如氯化氢、二氯甲烷及三氯化硼等设计研制。其主阀体及与气体接触部件均采用316L不锈钢及蒙乃尔合金，加工精密；采用膜片密封，可最大限度地防止扩散；减压器内装有过滤器，以防止减压器及其下游系统被外来粒子污染。该产品达到国际同类产品的先进水平，可代替进口产品；其国内市场不大，国内独家生产。D.KFGMF-Ⅱ型抗腐蚀隔膜瓶阀、管路阀用于CL-1、CL-2型特殊处理气瓶或其它抗腐蚀气瓶及管路上，可保证气体纯度。主阀体及与气体接触部件采用316L不锈钢或304不锈钢，加工精密；采用膜片密封，可最大限度地防止扩散。该产品达到国内同类产品的先进水平，可代替进口产品。合作方式：面议。 |
| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 成果
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68601
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
中国科学院金属研究所. 高纯电子气、低浓标准气包装容器特殊处理技术. 2004.
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