| 辉光放电充电光谱对金属与合金表面逐层分析新技术 |
| 任建世; 马洪波; 张功抒
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| 1999
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| 关键词 | 金属表面分析
光年光放电充电光谱
光谱分析
电子表面分析技术
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| 完成单位 | 中国科学院金属研究所;
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| 英文摘要 | 辉光放电是利用阴极溅射的作用使分析样品一层层均匀的剥落，而后进入负辉区激发发光，记录不同曝光时间发出的光谱不仅可以研究材料表面的化学组成，而且可以研究组成随深度而变化的情况。辉光放电光源的这一特点，可以用作金属表面逐层分析。该项目研究的主要内容是采用辉光放电光源作为激发源，设计组合成辉光放电光电光谱仪，开展新的逐层分析新技术和新方法，从而提高了光电光谱仪整体服务能力。该项目主要完成内容：新型辉光放电灯的设计。首先提出辉光放电阴极放电区域限制的新方法，研制成功分析用的新型辉光放电灯，同Ｇｒｉｍｍ灯比较，取消了阴极并简化了阴极，用一特殊石英环非常有效地限制阴极放电区域，即可分析平板样品，也可分析球面样品；组装成功了辉光放电作为激发源的光电谱仪，仪器工作分析过程，放电电流的测量均用计算机控制，是国内首次组装成功这种仪器；建立了对金属材料表面逐层分析新技术。建立分析面积为平方毫米，深度上百个微米，层间分辨率为零点几个微米，且有宏观平均统计意义的表面分析技术。 |
| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 成果
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68699
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
任建世,马洪波,张功抒. 辉光放电充电光谱对金属与合金表面逐层分析新技术. 1999.
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