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热解氮化硼材料
赵凤鸣; 王勇; 史文海
1984
关键词化学气体沉程 半导体器件 医疗 化学工业 电子工业 宇航 热解 非金属材料 氮化硼 热解氮化硼
完成单位中国科学院金属研究所;
英文摘要热解氮化硼材料在国外广泛的应用于宇航、电子、电工、化工、特种冶金、医疗等领域。在我国已成功应用在半导体行业,试用在电子管、冶炼、非晶态等方面。该技术采用化学气相沉积原理、关键是沉积温度,气体混合比、炉内压力和炉膛的几何形状。经测试纯度99.99%BN。晶体结构、显微结构、力学、热学、电学、微波和红外性能达到美国联合碳化公司的产品标准。它的社会效益在于打破禁运,填补空白,在我国开拓了一个新的材料领域,并使我国成为世界上除美、英外第三个拥有该技术与材料的国家。该技术的转让费要达上千万美元,该材料引起我国分子束外延技术,控制半绝缘砷化镓单晶技术的突变。它的直接和间接经济效益创产值上千万元。
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68918
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
赵凤鸣,王勇,史文海. 热解氮化硼材料. 1984.
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