| 热解氮化硼材料 | |
| 赵凤鸣; 王勇; 史文海 | |
| 1984 | |
| Keyword | 化学气体沉程 半导体器件 医疗 化学工业 电子工业 宇航 热解 非金属材料 氮化硼 热解氮化硼 |
| description.department | 中国科学院金属研究所; |
| Abstract | 热解氮化硼材料在国外广泛的应用于宇航、电子、电工、化工、特种冶金、医疗等领域。在我国已成功应用在半导体行业，试用在电子管、冶炼、非晶态等方面。该技术采用化学气相沉积原理、关键是沉积温度，气体混合比、炉内压力和炉膛的几何形状。经测试纯度９９．９９％ＢＮ。晶体结构、显微结构、力学、热学、电学、微波和红外性能达到美国联合碳化公司的产品标准。它的社会效益在于打破禁运，填补空白，在我国开拓了一个新的材料领域，并使我国成为世界上除美、英外第三个拥有该技术与材料的国家。该技术的转让费要达上千万美元，该材料引起我国分子束外延技术，控制半绝缘砷化镓单晶技术的突变。它的直接和间接经济效益创产值上千万元。 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 成果 |
| Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68918 |
| Collection | 中国科学院金属研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 赵凤鸣,王勇,史文海. 热解氮化硼材料. 1984. |
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