| 特殊处理气瓶及其配套件 |
| 中国科学院金属研究所
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| 2003
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| 关键词 | 气瓶
电子气体气瓶
内壁涂层气瓶
Cl-1型
氟树脂涂层
气瓶配套件
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| 完成单位 | 中国科学院金属研究所;
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| 英文摘要 | CL-1型特殊处理气瓶系列选用一号氟树脂进行内涂。气瓶内壁涂层光洁、配套性广、有憎水、化学惰性、保纯、抗腐蚀等特点，其耐压为14.7MPa，耐热<120℃，耐低温-196℃，适用于SiH<,4>/N<,2>，B<,2>H<,6>/N<,2>，PH<,3>/N<,2，AzH<,3>/N<,2>，HCl/N<,2>，SiH<,2>Cl<,2>等多种电子气体的优良包装容器，也可用于其它H<,2>，Ar等背景气和高纯气体以及标准气体，浓度及纯度稳定性长期考核无变化。CL-1型气瓶充装电子气应用于生产高品位电子器件。该特殊处理气瓶达到Air Spectra Steel气瓶质量水平。该项研究成果填补了中国高档次电子气瓶处理的空白，技术指标达到国际同类产品先进水平并有一定创新。目前已建成年产1000瓶的气瓶特殊处理中试生产线，实现了机械化，半自动化，部分电脑控制。 |
| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 成果
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68968
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
中国科学院金属研究所. 特殊处理气瓶及其配套件. 2003.
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