| 一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置 | |
| 张劲松; 杨永进; 张军旗; 刘强 | |
| 2005 | |
| 关键词 | 等离子体 化学反应 装置 |
| 完成单位 | 中国科学院金属研究所; |
| 英文摘要 | 一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：该装置由波导一同轴转换（1）、同轴腔（2）、带重入柱的TM010谐振腔（3）连接构成；同轴腔（2）的内导体（21）深入到TM010谐振腔（3）中，并通过高压引入结构（22）引入等离子体激发电压。本发明可以使等离子得到有效控制，从而可以实现等离子体化学合成的产业化。 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 成果 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/69178 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张劲松,杨永进,张军旗,等. 一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置. 2005. |
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