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一种模拟近地轨道空间复合环境方法及所用装置
中国科学院金属研究所
2008
关键词空间复合环境 近地轨道 真空环境 模拟
完成单位中国科学院金属研究所;
英文摘要本发明公开一种模拟近地轨道空间复合环境方法及所用装置。在真空环境下通过微波电子回旋共振方法耦合氧气放电产生高密度的氧等离子体,所产生的等离子体与带负电的金属靶碰撞中性化为氧原子,用紫外光源照射样品台,由加热装置和冷却装置控制样品台温度,从而产生原子氧+紫外+温度循环三因素复合环境;具体为:对真空室抽真空进行真空预出气;然后通入氧气;通过磁场和微波耦合氧气放电产生的氧等离子体,氧等离子体在磁场约束下撞击施加负偏压的靶,将氧等离子体转变为中性氧原子,在样品台位置产生环境。采用本发明能够模拟出原子氧+温度循环、紫外+温度循环、原子氧+紫外+温度循环等空间复合环境。
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/69184
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
中国科学院金属研究所. 一种模拟近地轨道空间复合环境方法及所用装置. 2008.
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