一种铜膜的制备方法 | |
卢磊; 斯晓; 陶乃熔; 隋曼龄; 卢柯 | |
2005 | |
关键词 | 铜膜制备 薄膜厚度 纳米材料 晶粒尺寸 |
完成单位 | 中国科学院金属研究所; |
英文摘要 | 内容简介:以晶粒尺寸小于100nm的纳米Cu为原材料,纯度高于9.995%wt%,密度为8.91±.03g/cm<'3>, 在室温冷轧,变形速率:1×10<'-5>-1×10<'-1>/s。该发明制备出的铜膜表面质量好,可以达到很薄膜的厚度,并且工艺简单,使用普通的轧制设备即可实现。申请国家专利二项,其中发明专利一项,实用型专利一项。 |
语种 | 中文 |
文献类型 | 成果 |
条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/69238 |
专题 | 中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢磊,斯晓,陶乃熔,等. 一种铜膜的制备方法. 2005. |
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