一种在宽温度范围内抗高温腐蚀的CrN/CrAlN防护涂层及制备方法

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	一种在宽温度范围内抗高温腐蚀的CrN/CrAlN防护涂层及制备方法
	中国科学院金属研究所
	2008
关键词	Crn/craln防护涂层抗高温腐蚀直流反应共溅
完成单位	中国科学院金属研究所;
英文摘要	本发明属于表面工程技术，具体是一种在宽温度范围内抗高温腐蚀的CrN/CrAlN防护涂层及制备方法，在高温合金表面制备CrN/CrAlN涂层，采用Cr靶、Al靶直流反应共溅的方式获得CrN/CrAlN涂层，基片温度为室温-300℃，Ar和N2采用质量流量计控制，其流量分别为6～20SCCM(标准立方厘米每分钟)和6～20SCCM，工作气压为0.1～0.8Pa。通过调节Cr靶和Al靶的功率比来控制涂层中的Al含量，为提高涂层和基体间结合力，在基体上施加0～150V的基体负偏压。所获得的涂层内层为CrN层，外层为Al含量呈梯度分布的Cr-Al-N层。涂层在800～900℃空气中氧化后主要形成固溶有Al的Cr_2O_3膜，在1000℃以上氧化时形成富Al氧化膜。热腐蚀实验表明CrN/CrAlN涂层具有很好的抗热腐蚀性能。应用本发明可提高高温合金在较宽的温度范围内抗氧化和热腐蚀性能。200610045989.3
语种	中文
文献类型	成果
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/69271
专题	中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	中国科学院金属研究所. 一种在宽温度范围内抗高温腐蚀的CrN/CrAlN防护涂层及制备方法. 2008.