| 脉冲激光溅射沉积PZT膜 | |
| 冯钟潮; 赵岩; 钟志源 | |
| 1999-10 | |
| 会议名称 | 第五届全国激光加工学术报告会 |
| 会议录名称 | 应用激光<1999.5> |
| 会议日期 | 1999-10 |
| 会议地点 | 济南 |
| 出版地 | 济南 |
| 出版者 | 中国光学学会 |
| 摘要 | 利用脉冲激光溅射沉积PZT压电陶瓷薄膜。着重研究了制备过程对膜层成分和结构的控制。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所(沈阳);香港城市大学(香港); |
| 关键词 | Pzt薄膜 脉冲激光溅射沉积 压电陶瓷 |
| 主办者 | 中国光学学会 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 会议论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/69356 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯钟潮,赵岩,钟志源. 脉冲激光溅射沉积PZT膜[C]. 济南:中国光学学会,1999. |
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