| β-SiC薄膜的生长速率及电阻温度特性 | |
| 张清; 夏非 | |
| 1990-11 | |
| 会议名称 | 第三次全国功能陶瓷学术会议 |
| 会议录名称 | 第三次全国功能陶瓷学术会议论文集 |
| 会议日期 | 1990-11 |
| 会议地点 | 苏州 |
| 出版者 | 中国电子学会 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所 |
| 关键词 | 金刚砂 薄膜生长 生长速率 电阻 温度 |
| 主办者 | 中国电子学会 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 会议论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/69600 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张清,夏非. β-SiC薄膜的生长速率及电阻温度特性[C]:中国电子学会,1990. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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