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关于透明导电ITO薄膜的电学极值问题的研究
陈猛; 王曦; 孙超; 黄荣芳; 闻立时
2000-03-01
会议名称上海市真空学会第七届学术年会
会议录名称上海市真空学会第七届学术年会论文集
会议日期2000-03-01
会议地点上海
摘要  基于有效质量的载流子浓度修正计算了电离杂质散射对ITO薄膜电学极限的贡献.研究表明,修正后的电离杂质散射机制界定了ITO薄膜载流子迁移率的上限和电阻率的下限.
部门归属中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室,上海,200050;中国科学院金属研究所,沈阳,110015;
关键词电离杂质散射 Ito薄膜 电学极值
主办者中国真空学会;上海市真空学会
语种中文
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/70342
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
陈猛,王曦,孙超,等. 关于透明导电ITO薄膜的电学极值问题的研究[C],2000.
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