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磁控溅射制备CrSiN涂层的结构及高温氧化性能
许向敏; 张豪; 周子皓; 罗飞飞; 多树旺; 李美栓
2014
Conference Name第十八届全国高技术陶瓷学术年会
Pages80
Conference Date2014
Conference Place中国广东清远
Abstract<正>采用闭合场非平衡磁控溅射技术在GH169高温合金基体上沉积了CrSiN涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和划痕仪研究了对Si的添加对CrN涂层微观结构、表面形貌、组成及性能的影响,同时对CrSiN涂层在800℃和900℃时的热稳定和抗高温氧化性能进行了研究。分析结果表明:Si的加入使CrSiN涂层结构不同于CrN,能够形成非晶SiN相导致膜基结合力提高。氧化过程中,Cr、Si与O反应
description.department江西科技师范大学江西省材料表面工程重点实验室 ; 中科院金属所沈阳材料科学国家(联合)实验室
Keyword非平衡磁控溅射 Crsin 抗高温氧化性能 涂层结构 合金基体 表面形貌 氧化过程 能谱仪 扫描电子显微镜 微观结构
Funding Organization中国硅酸盐学会特种陶瓷分会
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://ir.imr.ac.cn/handle/321006/73737
Collection中国科学院金属研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
许向敏,张豪,周子皓,等. 磁控溅射制备CrSiN涂层的结构及高温氧化性能[C],2014:80.
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