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IMR OpenIR  > 中国科学院金属研究所  > 会议论文

题名: 磁控溅射制备CrSiN涂层的结构及高温氧化性能
作者: 许向敏;  张豪;  周子皓;  罗飞飞;  多树旺;  李美栓
出版日期: 2014
会议日期: 2014
摘要: <正>采用闭合场非平衡磁控溅射技术在GH169高温合金基体上沉积了CrSiN涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和划痕仪研究了对Si的添加对CrN涂层微观结构、表面形貌、组成及性能的影响,同时对CrSiN涂层在800℃和900℃时的热稳定和抗高温氧化性能进行了研究。分析结果表明:Si的加入使CrSiN涂层结构不同于CrN,能够形成非晶SiN相导致膜基结合力提高。氧化过程中,Cr、Si与O反应
会议名称: 第十八届全国高技术陶瓷学术年会
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许向敏,张豪,周子皓,等. 磁控溅射制备crsin涂层的结构及高温氧化性能[C].2014,80.
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