采用直流反应磁控溅射技术在M2高速钢基片上制备了不同Mo含量的Cr Mo N复合涂层,研究了Mo含量的变化对Cr Mo N复合涂层成分、相结构、化学价态、截面形貌、显微硬度和摩擦性能等的影响.结果表明,随着Mo含量的增加,Cr Mo N复合涂层的相结构先转变为以fcc-Cr N相为基础的(Cr,Mo)N置换式固溶体,后转变为以fcc-g-Mo2N相为主的混合相,当Mo含量为69.3%(原子分数)时,伴有少量的bcc-Mo相生成;Cr Mo N复合涂层的显微硬度先增加后降低,在Mo含量为45.4%时具有最高值;当Mo含量大于45.4%时,在与对磨副摩擦过程中会生成大量的Mo O3相,降低了摩擦系数和磨损率.
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