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沉积工艺参数及N,C掺杂对AlB2型WB2薄膜结构及性能的影响
刘艳明
学位类型博士
导师孙超
2015
语种中文
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/74198
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘艳明. 沉积工艺参数及N,C掺杂对AlB2型WB2薄膜结构及性能的影响[D],2015.
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