Advanced   Register
IMR OpenIR  > 中国科学院金属研究所  > 期刊论文

题名: 多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析
作者: 郎文昌;  高斌;  杜昊;  肖金泉;  谢婷婷;  王向红
发表日期: 2015-6-15
摘要: 电弧离子镀工艺中,弧斑的放电形式、运动速率、运动方式的控制对于减少以至消除大颗粒的发射至关重要。本文采用自主研发的机械式旋转磁控弧源,围绕三种不同模式的旋转磁场下弧斑的放电行为及规律进行了研究,并从弧斑放电的物理机制出发,分析讨论了不同模式的旋转磁场对阴极斑点运动的影响机理。研究结果表明,多模式旋转磁场可以有效提高弧斑的运动速度、扩大放电面积、降低放电功率密度、减少大颗粒的发射,同时还能够大幅度提高靶材的利用率,拓展电弧离子镀的应用。
刊名: 真空科学与技术学报
Appears in Collections:中国科学院金属研究所_期刊论文

Files in This Item:

There are no files associated with this item.




Recommended Citation:
郎文昌,高斌,杜昊,等. 多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析[J]. 真空科学与技术学报,2015(6).
Service
 Recommend this item
 Sava as my favorate item
 Show this item's statistics
 Export Endnote File
Google Scholar
 Similar articles in Google Scholar
 [郎文昌]'s Articles
 [高斌]'s Articles
 [杜昊]'s Articles
CSDL cross search
 Similar articles in CSDL Cross Search
 [郎文昌]‘s Articles
 [高斌]‘s Articles
 [杜昊]‘s Articles
Scirus search
 Similar articles in Scirus
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
  Add to CiteULike  Add to Connotea  Add to Del.icio.us  Add to Digg  Add to Reddit 
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放,请您登录
您对该条目有什么异议,请填写以下表单,管理员会尽快联系您。
内 容:
Email:  *
单位:
验证码:   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题:
 *
内 容:
Email:  *
验证码:   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 

Valid XHTML 1.0!
Copyright © 2007-2017  中国科学院金属研究所  -Feedback
Powered by CSpace