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旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响
郎文昌; 赵彦辉; 肖金泉; 宫骏; 孙超; 于宝海; 闻立时
2015-03-15
Source Publication真空科学与技术学报
Issue3
Abstract研究了旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响规律,采用有限元分析软件FEMM对旋转横向磁场的分布进行了模拟,考察了不同频率(80~210 Hz)及电磁线圈励磁电流对弧斑运动的影响。从电弧斑点放电的物理机制出发,探讨了不同频率和磁场线圈电流对电弧离子镀弧斑运动的影响机制。结果表明,随着旋转横向磁场强度和频率的提高,使弧斑逐渐从聚集的斑点态(或者弱分散的团絮态)转变为大面积分布在靶面较强的分散弧斑絮线,最后转变为完全分布在整个靶面的强分散弧斑线,弧斑分裂强烈,产生的弧光等离子体更加均匀细腻。随着瞬态弧斑线在靶面分布面积的增加,弧压增加,弧电流密度急剧下降,靶材利用率达到85%以上。旋转横向磁场的应...
description.department中国科学院金属研究所材料表面工程研究部 ; 中国科学院金属研究所专用材料与器件研究部
Keyword旋转横向磁场 电弧离子镀 有限元分析 阴极弧斑运动
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.imr.ac.cn/handle/321006/74507
Collection中国科学院金属研究所
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GB/T 7714
郎文昌,赵彦辉,肖金泉,等. 旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响[J]. 真空科学与技术学报,2015(3).
APA 郎文昌.,赵彦辉.,肖金泉.,宫骏.,孙超.,...&闻立时.(2015).旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响.真空科学与技术学报(3).
MLA 郎文昌,et al."旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响".真空科学与技术学报 .3(2015).
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