IMR OpenIR
MPCVD制备SiC薄膜及其在重金属离子痕量检测方面的研究
王春; 黄楠; 庄昊; 杨兵; 田清泉; 郭宇宁; 刘鲁生; 姜辛
2015-08-21
Source PublicationTFC'15全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
Abstract宽禁带半导体碳化硅(SiC)薄膜因其高热导率、高电子迁移率和高饱和电子漂移速度等优异性质而受到广泛关注。同时,其稳定的化学性质和宽的电化学势窗也使SiC薄膜可以用作电化学电极材料。本文利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在硅基体上制备SiC薄膜,通过改变功率和工作气压,SiC薄膜由纳米晶向异质外延结构转变。XRD和拉曼结果表明:SiC薄膜的外延质量随功率增加而提高。随着我国环境问题越来越严重,水体污染特别是重金属离子污染也越来越受到人们的重视。饮用水标准中重金属离子的允许值大多在几个ppb到几个ppm之间,而在现有的测试方法中,阳极溶出伏安法因其操作简单、响应快速而受到广泛关注。本文采...
description.department中国科学院金属研究所 ; 沈阳材料国家(联合)实验室功能薄膜与界面研究部 ; 德国锡根大学表面技术与材料工程研究所
KeywordMpcvd Sic薄膜 重金属离子检测
Document Type会议论文
Identifierhttp://ir.imr.ac.cn/handle/321006/74540
Collection中国科学院金属研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
王春,黄楠,庄昊,等. MPCVD制备SiC薄膜及其在重金属离子痕量检测方面的研究[C],2015.
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[王春]'s Articles
[黄楠]'s Articles
[庄昊]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[王春]'s Articles
[黄楠]'s Articles
[庄昊]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[王春]'s Articles
[黄楠]'s Articles
[庄昊]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.