| 气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置 | |
| 姜辛、刘鲁生、史丹、贾文博、黄楠、刘宝丹 | |
| 2015-12-23 | |
| 专利权人 | 姜辛、刘鲁生、史丹、贾文博、黄楠、刘宝丹 |
| 公开日期 | 2015-12-23 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所 |
| 申请日期 | 2015-07-07 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 2015 20489578.8 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/76731 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜辛、刘鲁生、史丹、贾文博、黄楠、刘宝丹. 气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置[P]. 2015-12-23. |
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