| 硬质多元氮化物薄膜研究进展 |
| 赵彦辉; 徐丽; 于海涛; 赵升升; 刘占奇; 于宝海
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| 2017-06-20
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| 发表期刊 | 表面技术
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| 期号 | 6页码:102-109 |
| 摘要 | 综述了硬质多元氮化物薄膜的研究进展,主要是从硬质薄膜的发展历程上,介绍了每一代薄膜的产生及其特点。同时介绍了硬质多元氮化物薄膜的结构及其性能特点。着重从如何提高薄膜硬度和韧性方面进行了详细介绍,对几种硬化机制进行了论述,包括晶粒细化、晶界强化、固溶强化及离子轰击/应力硬化。同时还介绍了提高薄膜韧性的方法,包括引入一个韧性相(包括金属相)、利用相变韧化、引入压应力韧化、优化涂层结构等。同时还指出,硬度和韧性都是硬质薄膜获得实际应用的重要指标。单纯追求高硬度或高韧性是不可取的,因为硬质薄膜一般脆性较大,而韧性好的薄膜却缺乏足够的硬度。从工程应用的角度来说,既要得到较高的硬度,而且韧性不能损失太多。最后指出,今后的发展方向要将硬化和韧性的研究集中在纳米尺度上,即如何在纳米尺度上进一步理解薄膜的变形。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所
; 中国石油天然气股份有限公司吉林石化分公司乙烯厂
; 深圳职业技术学院
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| 关键词 | 硬质多元氮化物薄膜
组织结构
硬度
韧性
强韧化机制
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| 资助者 | 国家自然科学基金资助项目(51401128)~~
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/77931
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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| 通讯作者 | 赵彦辉 |
推荐引用方式
GB/T 7714 |
赵彦辉,徐丽,于海涛,等. 硬质多元氮化物薄膜研究进展[J]. 表面技术,2017(6):102-109.
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| APA |
赵彦辉,徐丽,于海涛,赵升升,刘占奇,&于宝海.(2017).硬质多元氮化物薄膜研究进展.表面技术(6),102-109.
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| MLA |
赵彦辉,et al."硬质多元氮化物薄膜研究进展".表面技术 .6(2017):102-109.
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