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一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置
姜辛; 刘鲁生; 黄楠; 杨兵; 王宜豹
2018-01-12
专利权人中国科学院金属研究所
专利类型实用新型
专利号201720439924.0
文献类型专利
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/79951
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
姜辛,刘鲁生,黄楠,等. 一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置. 201720439924.0[P]. 2018-01-12.
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