直流基体偏压对Al-Cr-Si-N涂层结构和力学性能的影响

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	直流基体偏压对Al-Cr-Si-N涂层结构和力学性能的影响
	张姣姣 ; 王铁钢 ; 阎兵 ; 刘源 ; 姜肃猛 ; 董玉
	2018-07-15
发表期刊	稀有金属材料与工程
卷号	47 期号:07 页码:2232-2239
摘要	采用电弧离子镀技术在不同直流偏压下沉积Al-Cr-Si-N涂层,研究基体偏压对涂层成分、微观结构和性能的影响。结果表明:Al-Cr-Si-N涂层以密排六方结构和面心立方结构的AlN相为主,随着基体负偏压增加,涂层的衍射峰整体向小角度方向偏移:涂层内残余压应力逐渐增加,最大值为-0.77 GPa;涂层硬度和摩擦系数变化不明显。当基体负偏压为-40V时,Al-Cr-Si-N涂层的特征参数H/E和H~3/E~(*2)均达最大值,分别为0.15和0.37GPa,此时涂层具有最佳的耐磨性能,摩擦系数亦最低。
关键词	Al-Cr-Si-N涂层微观结构显微硬度残余应力摩擦磨损
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/80199
专题	中国科学院金属研究所
通讯作者	张姣姣
作者单位	1.天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室 2.中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张姣姣,王铁钢,阎兵,等. 直流基体偏压对Al-Cr-Si-N涂层结构和力学性能的影响[J]. 稀有金属材料与工程,2018,47(07):2232-2239.
APA	张姣姣,王铁钢,阎兵,刘源,姜肃猛,&董玉.(2018).直流基体偏压对Al-Cr-Si-N涂层结构和力学性能的影响.稀有金属材料与工程,47(07),2232-2239.
MLA	张姣姣,et al."直流基体偏压对Al-Cr-Si-N涂层结构和力学性能的影响".稀有金属材料与工程 47.07(2018):2232-2239.